handbuch der vakuumtechnik
Mr. Dennis Dare MD
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n und Oberflächenbehandlung Materialauswahl ist für die Integrität und Dichtheit eines Vakuums entscheidend: Dichtungen: O-Ringe, Flachdichtungen, Metalldichtungen (z.B. Kupfer, Silizium) Wichtig für Minimierung von Leckagen Oberflächenbeschichtungen: Reduktion von Outgassing (A
